EN
• 独家气体混气模块实现气流均匀吹扫
• 采用气流反馈控制系统精确调控气体比例
• 专用工艺腔体结构紧凑
• 多蒸发源独立控温(300-1500C)
• 支持多源共蒸
• 配备多膜厚仪,实现膜厚精准控制
• 预抽腔体设计降低真空泵成本
• 自研控制系统实现抽速保压多维度调控
• 可定制闪蒸控温与吹气模块 配备多层扰流系统
安装便捷,安全受控
高精度、高稳定性
体积小巧,适配手套箱内部使用
安装简单、安全性高
程序可调、易操作
灵敏度高、检测精度高
体积小、便携性高
操作简单