嘉兴大哲光能有限公司
解决方案
磁控溅射系统

• 独家气体混气模块实现气流均匀吹扫

• 采用气流反馈控制系统精确调控气体比例

• 专用工艺腔体结构紧凑

  • 附着力强
  • 薄膜均匀
  • 成分控制精确
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